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Meça com confiança a posição da ranhura do wafer usando imagens 2D e validação 3D para linhas mais rápidas e melhor rendimento
Meça a posição da ranhura da wafer com precisão
As câmeras inteligentes da Zebra capturam imagens de alta resolução das bordas e entalhes do wafer. Essas imagens são analisadas usando o software de visão de máquina Aurora. Após calibrar a óptica uma vez, o software converte as distâncias de pixel em micrômetros. Ele então combina arcos, linhas e centros de círculos com a borda da wafer para determinar o ângulo e o deslocamento da ranhura, verificando-os contra as tolerâncias definidas pelo usuário. Se houver algum desalinhamento, uma correção para ajustar a wafer pode ser feita antes da próxima etapa, garantindo que ela permaneça alinhada com precisão.
Adicione validação 3D para precisão em movimento
Os sensores de perfil 3D AltiZ capturam nuvens de pontos tridimensionais (3D) da borda e da ranhura da wafer enquanto os transportadores se movem, verificando a posição, a inclinação e a curvatura da wafer sem parar a linha. O sistema compara medidas 2D com a geometria 3D para evitar erros de brilho, ajustando automaticamente o manuseio do robô ou acionando alarmes conforme necessário. Ele gerencia efetivamente superfícies brilhantes e mantém o alinhamento em velocidades típicas de produção.
Transforme os dados de inspeção em controle de processo e rastreabilidade
A plataforma de software Zebra Aurora facilita o compartilhamento de resultados de alinhamento diretamente com um Sistema de Execução de Manufatura (MES) e painéis de controle estatístico de processo (SPC). O software Aurora Imaging Library captura medidas precisas das posições da wafer. Cada medida é cuidadosamente marcada com informações como lotes, ferramentas e IDs de receita, tornando as auditorias rastreáveis e permitindo uma forte análise de tendência. Esta solução all-in-one garante que as wafers atendam a rigorosos padrões de qualidade, sinaliza automaticamente posições fora das especificações e mantém um registro detalhado de quaisquer ajustes feitos.
