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Meça com confiança a posição das saliências das wafers usando imagens 2D e validação 3D para linhas mais rápidas e maior produtividade
Meça com precisão a posição das saliências das wafers
As câmeras inteligentes da Zebra capturam imagens de alta resolução das bordas e saliências das wafers. Essas imagens são analisadas usando o software de visão de máquina Aurora. Após calibrar a óptica uma vez, o software converte as distâncias em pixels para micrômetros. Em seguida, ele compara arcos, linhas e centros de círculos com a borda da wafer para determinar o ângulo e o deslocamento da saliência, verificando esses dados contra tolerâncias definidas pelo usuário. Se houver algum desalinhamento, uma correção para ajustar a wafer pode ser feita antes da próxima etapa, garantindo que ela permaneça precisamente alinhada.
Adicione validação 3D para precisão em movimento
Os Sensores de Perfil 3D AltiZ capturam nuvens de pontos tridimensionais (3D) da borda e saliência da wafer enquanto os transportadores se movem, verificando a posição, a inclinação e a curvatura da wafer sem parar a linha. O sistema faz uma verificação cruzada das medições 2D com a geometria 3D para evitar erros causados por reflexos, ajustando automaticamente o manuseio robótico ou acionando alarmes conforme necessário. Ele gerencia efetivamente superfícies brilhantes e mantém o alinhamento em velocidades de produção típicas.
Transforme os dados de inspeção em controle de processo e rastreabilidade
A plataforma de software Zebra Aurora facilita o compartilhamento dos resultados de alinhamento diretamente com um Sistema de Execução de Produção (MES) e painéis de controle estatístico de processo (SPC). O software Aurora Imaging Library captura medições precisas das posições das wafers. Cada medida é cuidadosamente etiquetada com informações como IDs de lote, ferramenta e receita, tornando as auditorias rastreáveis e permitindo uma forte análise de tendências. Esta solução tudo-em-um garante que as placas atendam aos rigorosos padrões de qualidade, sinaliza automaticamente posições fora das especificações e mantém um registro detalhado de quaisquer ajustes realizados.
