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Messen Sie die Position der Wafernute zuverlässig mit 2D-Bildgebung und 3D-Validierung für schnellere Linien und höhere Ausbeute
Messen Sie die Position der Wafernute präzise
Zebra Smart-Kameras erfassen hochauflösende Bilder der Kanten und Nuten der Wafer. Diese Bilder werden mit der Bildverarbeitungssoftware Aurora analysiert. Nach einmaliger Kalibrierung der Optik wandelt die Software die Pixeldistanzen in Mikrometer um. Anschließend werden Bögen, Linien und Kreismittelpunkte mit dem Rand des Wafers abgeglichen, um den Winkel und den Versatz der Nut zu bestimmen und diese mit benutzerdefinierten Toleranzen zu überprüfen. Wenn eine Fehlausrichtung vorliegt, kann eine Korrektur zur Anpassung des Wafers vor dem nächsten Schritt vorgenommen werden, um sicherzustellen, dass er präzise ausgerichtet bleibt.
Fügen Sie 3D-Validierung für präzise Bewegungen hinzu
AltiZ 3D Profil-Sensoren erfassen dreidimensionale (3D) Punktwolken der Waferkante und -nute, während sich die Förderbänder bewegen, und überprüfen die Position, Neigung und Krümmung des Wafers, ohne die Linie anhalten zu müssen. Das System überprüft 2D-Messungen mit 3D-Geometrie, um Fehler durch Blendung zu vermeiden, und passt die Robotikhandhabung automatisch an oder löst bei Bedarf Alarme aus. Es verwaltet glänzende Oberflächen effektiv und behält die Ausrichtung bei typischen Produktionsgeschwindigkeiten bei.
Verwandeln Sie Inspektionsdaten in Prozesskontrolle und Rückverfolgbarkeit
Die Zebra Aurora Softwareplattform ermöglicht es, Ausrichtungsergebnisse direkt mit einem Manufacturing Execution System (MES) und Dashboards für die statistische Prozesskontrolle (SPC) zu teilen. Die Aurora Imaging Library Software erfasst präzise Messungen der Waferpositionen. Jede Messung wird sorgfältig mit Informationen wie Charge, Werkzeug und Rezepturkennungen versehen, wodurch Audits nachvollziehbar sind und eine umfassende Trendanalyse ermöglicht wird. Diese All-in-One-Lösung stellt sicher, dass Wafer strenge Qualitätsstandards erfüllen, markiert automatisch Positionen, die nicht den Spezifikationen entsprechen, und führt eine detaillierte Aufzeichnung aller vorgenommenen Anpassungen.
