ウェーハ位置の測定


ウェーハの取り扱いは精密な作業であり、わずかなずれでもリソグラフィープロセス中に問題を引き起こし、段取り替え時間の延長や歩留まりの低下につながります。ビジョンガイド検査は、高解像度イメージングと精密な測定を提供します。3Dセンシングを追加することで、動作中のウェーハの位置、傾き、向きを検証し、ロボットが繊細な表面に触れることを回避できます。自動化されたインライン制御により、品質が向上し、サイクルが高速化され、歩留まりが改善されます。

Zebra Technologies integrates vision-guided inspections and 3D sensing to precisely measure wafer position, tilt, and orientation, ensuring delicate handling, enhanced efficiency, and improved yields in wafer processing.

2Dイメージングと3D検証を使用してウェーハノッチ位置を確実に測定し、ラインの高速化と歩留まりの向上を実現します

A Zebra Iris GTX camera is inspecting a semiconductor wafer notch, using high-resolution imaging along with Aurora machine vision software to analyze geometric features, convert pixel distances to micrometers, and ensure precise alignment through user-defined tolerances.

ウェーハノッチ位置を精密に測定します

Zebraスマートカメラは、ウェーハのエッジとノッチの高解像度画像を撮影します。これらの画像は、Auroraマシンビジョンソフトウェアを使用して分析されます。光学系を一度キャリブレーションした後、ソフトウェアはピクセル距離をマイクロメートルに変換します。次に、円弧、線、円の中心をウェーハのエッジに合わせて、ノッチの角度とオフセットを決定し、これらをユーザー定義の許容範囲と照合します。 ずれがある場合は、次のステップの前にウェーハを調整する補正を行い、正確なアライメントを維持します。

The Zebra AltiZ 4200 3D profile sensor captures detailed 3D point clouds of semiconductor wafer edges and notches as they move along a conveyor, enabling precise verification of wafer position, tilt, and bow by combining 2D and 3D measurements, all while efficiently managing glossy surfaces and maintaining accuracy even at high production speeds.

動作中の精度のために3D検証を追加します

AltiZ 3Dプロファイルセンサーは、コンベアが動いている間にウェーハのエッジとノッチの3D点群を撮影し、ラインを停止することなくウェーハの位置、傾き、反りを検証します。   システムは2D測定と3D形状をクロスチェックしてグレアによるエラーを防ぎ、必要に応じてロボットハンドリングを自動調整したり、アラームを発したりします。光沢のある表面を効果的に管理し、通常の生産速度でアライメントを維持します。

Screenshot of the Aurora Imaging Library interface, showcasing precise wafer position measurements tagged with an ID, enabling automated out-of-spec flagging and detailed adjustment records for quality control and trend analysis.

検査データをプロセス制御とトレーサビリティに変換します

Zebra Auroraソフトウェアプラットフォームにより、アライメント結果を製造実行システム(MES)や統計的工程管理(SPC)ダッシュボードと直接共有することが簡単になります。Aurora Imaging Libraryソフトウェアは、ウェーハ位置の精密な測定を取得します。各測定には、ロット、ツール、レシピIDなどの情報が丁寧にタグ付けされ、監査をトレーサブルにし、強力なトレンド分析を可能にします。このオールインワンソリューションは、ウェーハが厳格な品質基準を満たすことを保証し、規格外の位置を自動的にフラグ付けし、行われた調整の詳細な記録を保持します。