웨이퍼 위치 측정

웨이퍼 핸들링은 정밀한 작업으로, 아주 작은 정렬 오차도 리소그래피 공정 중 문제를 일으켜 전환 시간이 길어지고 수율이 낮아질 수 있습니다. 비전 가이드 검사는 고해상도 이미징과 정밀한 측정을 제공합니다. 3D 센싱을 추가하면 웨이퍼가 움직이는 동안 위치, 기울기 및 방향을 확인하여 로봇이 취약한 표면에 닿지 않도록 도와줍니다. 자동화된 인라인 제어는 품질을 향상시키고 사이클을 단축하며 수율을 개선합니다.

Zebra Technologies integrates vision-guided inspections and 3D sensing to precisely measure wafer position, tilt, and orientation, ensuring delicate handling, enhanced efficiency, and improved yields in wafer processing.

2D 이미징과 3D 검증을 사용하여 웨이퍼 노치 위치를 정확하게 측정하고 라인 속도를 높이며 수율을 개선하세요

A Zebra Iris GTX camera is inspecting a semiconductor wafer notch, using high-resolution imaging along with Aurora machine vision software to analyze geometric features, convert pixel distances to micrometers, and ensure precise alignment through user-defined tolerances.

웨이퍼 노치 위치를 정밀하게 측정하세요

Zebra 스마트 카메라는 웨이퍼의 가장자리와 노치의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 이러한 이미지는 Aurora 머신 비전 소프트웨어를 사용하여 분석됩니다. 광학 장치를 한 번 보정한 후 소프트웨어는 픽셀 거리를 마이크로미터로 변환합니다. 그런 다음 호, 선 및 원의 중심을 웨이퍼 가장자리에 맞춰 노치의 각도와 오프셋을 결정하고 사용자 정의 허용 오차와 비교합니다. 정렬 오차가 있는 경우 다음 단계 전에 웨이퍼를 조정하여 정밀한 정렬을 유지할 수 있습니다.

Zebra 스마트 카메라로 이동

동작 중 정확도를 위한 3D 검증을 추가하세요

AltiZ 3D 프로파일 센서는 컨베이어가 움직이는 동안 웨이퍼 가장자리와 노치의 3차원(3D) 포인트 클라우드를 캡처하여 라인을 멈추지 않고 웨이퍼의 위치, 기울기 및 휨을 확인합니다. 시스템은 2D 측정값을 3D 형상과 교차 확인하여 눈부심으로 인한 오류를 방지하고 필요에 따라 로봇 핸들링을 자동으로 조정하거나 알람을 발생시킵니다. 광택 표면을 효과적으로 관리하고 일반적인 생산 속도에서 정렬을 유지합니다.

3S 시리즈 3D 센서로 이동

Screenshot of the Aurora Imaging Library interface, showcasing precise wafer position measurements tagged with an ID, enabling automated out-of-spec flagging and detailed adjustment records for quality control and trend analysis.

검사 데이터를 공정 제어 및 추적성으로 전환하세요

Zebra Aurora 소프트웨어 플랫폼을 사용하면 정렬 결과를 제조 실행 시스템(MES) 및 통계적 공정 관리(SPC) 대시보드와 직접 공유할 수 있습니다. Aurora Imaging Library 소프트웨어는 웨이퍼 위치의 정밀한 측정값을 캡처합니다. 각 측정값은 로트, 도구 및 레시피 ID와 같은 정보로 세심하게 태그되어 감사를 추적 가능하게 하고 강력한 추세 분석을 가능하게 합니다. 이 올인원 솔루션은 웨이퍼가 엄격한 품질 기준을 충족하도록 보장하고 사양을 벗어난 위치를 자동으로 표시하며 수행된 모든 조정에 대한 상세한 기록을 유지합니다.

라벨 검증은 얼룩진 텍스트, 손상된 바코드 또는 누락된 필드와 같은 문제를 방지하기 위해 정확하고 일관된 인라인 검사를 지원하여 소비자 안전을 보호하고 규정 준수 요구 사항을 충족하며 Zebra 고정형 산업용 스캐너, Iris GTX 스마트 카메라 및 Aurora Design Assistant와 같은 고급 솔루션으로 원활한 생산 워크플로를 유지합니다.

증가함

고정형 산업용 스캐닝 및 머신 비전 성공 사례

Zebra's machine vision during the packaging process at Del Monte Foods

성공 사례 2 몇 분만에 판독

Zebra 고정식 산업용 스캐닝 및 머신 비전 솔루션으로 포장 정확도를 개선한 Del Monte

포장 과일 및 채소 생산업체로 유명한 Del Monte는 오랫동안 품질로 인정받아 왔습니다. 사소한 문제가 큰 생산 차질과 고객 불만족으로 이어질 수 있는 식품업계에서 Del Monte는 고정식 산업용 스캐닝 및 머신 비전 시스템으로 품질을 관리했습니다.

증가함

성공 사례

CEWE, 산업용 스캐너로 생산 가속화

CEWE는 다양한 고품질 사진 제품을 판매하는 업체로, 고객이 개인정보보호에 대한 걱정 없이 개인 사진을 업로드하여 사진첩을 만들 수 있는 신뢰할 수 있는 산업용 스캔 솔루션이 필요했습니다.

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